Ni／Ti双金属层的离子束混合与固态反应
低能离子束的最早应用是替代热扩散方法对半导体进行掺杂,离子注入技术与常规的掺杂工艺相比有如下优点:注入的杂质不受其在靶材料中的固溶度的限制;可以精确控制掺杂杂质的数量和掺杂深度;离子注入不会产生象热扩散那样严重的横向扩散;离子束掺杂可以做到大面积均匀;由于离子掺杂可在低温下进行,适用于对化合物半导体等易于被分解的半导体材料的掺杂.由于这些优点,离子注入技术迅速发展起来,现在许多半导体生产厂家都采用了离子束掺杂技术.离子束混合技术是很令人感兴趣的手段.用此方法,人们在双金属体系上得到了许多用其他方法没有得到过的合金相包括许多亚稳相,特别是离子束混合在双金属体系上形成非晶过程,尤其令人感兴趣,人们对此作了大量研究,并对其机制提出了一些解释.但不存在着大量问题尚待深入研究.现在,离子束混合实际已经成为研究物理金属学的重要手段了.近来,人们用其他的一些固态反应方法,如慢加热法,固体粉末碾磨法等在一些双金属体系上获得了非晶相,如La/Au~((1)),Zr/Co~((2)),Li/Zr~((3)),Ni/Hf~((4)),Fe/Zr~((5)),对其非晶相形成机制目前还没有看到令人满意的解释,本文试图对此过程做些解释,并对固态反应能够形成非晶相的双金属体系进行离子束混合与固态反应的比较研究.
- 作者：
- 刘文宏
- 学位授予单位：
- 中国科学院上海应用物理研究所
- 授予学位：
- 硕士
- 学位年度：
- 1988年
- 导师姓名：
- 王震遐