五自由度洁净晶圆传输机器人的动力学建模与分析
Dynamic Modeling and Analysis of5-DOF Clean Room Wafer Handling Robot
集成电路(IC)产业作为信息化的基础,对经济发展,社会进步和国家安全都有着巨大的影响.而IC制造装备是IC产业发展的支柱,在整个IC产业的发展中扮演着技术先导的角色.集束型晶圆制造设备已发展成IC制造业中半导体前端设备的主流.洁净晶圆传输机器人正是集束型设备中晶圆在各制造装备之间传递的核心部件,其性能直接影响整个集束型设备的可靠程度和自动化水平.本论文以上述的洁净晶圆传输机器人为研究对象,对其进行了运动学与动力学分析,建立了运动学、动力学方程;基于ADAMS软件,建立了洁净晶圆传输机器人的虚拟样机;采用B样条构造机器人关节轨迹,并且利用ADAMS虚拟样机对轨迹规划的结果进行了仿真;基于Matlab软件,还建立了洁净晶圆传输机器人的单关节控制器模型;最后联合ADAMS虚拟样机以及Matlab控制器模型进行了洁净晶圆传输机器人的仿真,实现了洁净晶圆传输机器人在控制器作用下的虚拟运动,为实际开发这种洁净晶圆传输机器人的实物样机奠定了理论基础.
- 作者：
- 吴静
- 学位授予单位：
- 上海交通大学
- 专业名称：
- 机械电子工程
- 授予学位：
- 硕士
- 学位年度：
- 2013年
- 导师姓名：
- 刘品宽
- 中图分类号：
- TP242
- 关键词：
- 晶圆传输机器人；虚拟样机；轨迹规划；联合仿真
- Wafer handling robot；Virtual prototype；Trajectory plan；Coordinated simulation