辉光放电质谱法镀锌钢板深度分布分析定量数学模型的建立
该文的主要工作是建立辉光放电质谱(GDMS)法镀锌钢板定量深度分布分析数学模型,解决GDMS在深度分布分析方面的定量化问题.在辉光放电质谱的样品溅射过程中,均匀逐层的等离子体溅射是进行深度分布分析的前提.影响均匀逐层溅射的主要因素是等离子体密度分配,根据Child-Lanmuir等离子体密度分配公式,等离子体密度分配主要受到等离子体电压的影响.基于固体中各原子所占空间基本相同,该文使用各元素的物质的量分量及各组分的实际密度建立了锌铁互渗区横断面的密度计算方法.d=∑n<,i>d<,i>.式中n<,i>为各组分的摩尔分量,d<,i>为各组分的密度.辉光放电质谱深度分布分析所得到的是含量随时间的变化曲线,该文根据含量随时间的变化规律,模拟出了含量对时间的数学函数,模拟函数曲线与实际实验所得到的曲线吻合很好.在假设条件下,建立了微区内时间与深度的转化模型,即单位时间和在此时间段内的溅射深度的转化关系.经过严格的数学推导过程,得到深度定量计算模型.
- 作者：
- 崔玉省
- 学位授予单位：
- 钢铁研究总院
- 专业名称：
- 分析化学
- 授予学位：
- 硕士
- 学位年度：
- 2001年
- 导师姓名：
- 王海舟；李小佳
- 中图分类号：
- O657.63
- 关键词：
- 辉光放电；辉光放电质谱；等离子体；深度分布；数学模型；等离子体溅射；溅射率
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