LBO晶体表面高激光损伤阈值增透膜的研制
Preparation and Study of Antireflection Coatings with Higher Laser Induced Damage Threshold on the LBO Crystal
随着全固态激光器向高功率发展,在晶体上镀制的增透膜除了要求更加良好的光学性能外,对薄膜的力学性能、抗激光损伤性能也提出了更高的要求. 该文围绕提高非线性光学晶体LiB3O5(LBO)上增透膜的激光损伤阈值(laser induced damage threshold, LIDT),这一中心问题,主要开展了四方面的工作.首先采用矢量合成法设计了LBO晶体上的二倍频、三倍频增透膜,并对膜系的膜层厚度、折射率和剩余反射率之间进行了容差分析,为获得低剩余反射和高重复性的增透膜提供了理论指导.根据倍频增透膜的设计结果,选择了物理化学性质稳定、熔点高和抗损伤阈值能力强的HfO2作为高折射率材料,研究了不同沉积工艺对膜层性质的影响,包括折射率、表面缺陷、晶体结构和激光损伤阈值.然后分析了基底和膜层表面的缺陷和污染、基底的清洗方式和薄膜制备技术等主要因素对薄膜损伤特性的影响.最后,采用离子辅助沉积技术,通过优化沉积工艺制备了高附着力、高环境稳定性和高激光损伤阈值的蓝光、绿光倍频增透膜.并根据LBO晶体倍频增透膜的损伤特点,通过在膜层与基底界面加内保护层,进一步提高了倍频增透膜的激...
- 作者：
- 于爱芳
- 学位授予单位：
- 中国科学院研究生院(理化技术研究所)
- 专业名称：
- 凝聚态物理
- 授予学位：
- 博士
- 学位年度：
- 2007年
- 导师姓名：
- 陈创天
- 中图分类号：
- TN249
- 关键词：
- LiB_3O_5(LBO)；倍频；增透膜；矢量合成法；HfO_2；离子辅助沉积；离子束清洗；激光损伤阈值；附着力；内保护层
- LiB3O5 (LBO)；frequency multiplication；antireflection coating；vector addition method；HfO2；ion assisted deposition；ion beam cleaning；adhesion；laser induced damage threshold；barrier layer