辽宁学术搜索 - 检索结果

1. 传感器芯片腐蚀深度测试仪的研制

	[中文会议论文] 作者:匡石；刘沁；张纯棣；李民作者单位:沈阳仪表科学研究院会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	扩散硅传感器芯片腐蚀深度测试仪采用接触法测量.是采用动态闭环计算机控制方法.测量范围360°任意位置,测量准确度±2μm.能准确控制接触压力,保证了低量程的传感器芯片在测量过程中不被损坏.
	关键词：腐蚀深度测试方法闭环自动控制 RS-232通讯

2. 中国传感器产业的现状

	[中文会议论文] 作者:齐文杰；胡方；岳宏；亢春梅；胡文炯作者单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	按照传感器行业的年度技术经济统计数据,给出了全国企事业构成及其分布情况,综述了基础应用研究,科技攻关、MEMS传感器以及科技成果工程化取得的成果,重点报道了各类传感器的年产销量、出口量、产品结构、企业
	关键词：传感器产业产业结构产品结构

3. 国外传感器市场分析及展望

	[中文会议论文] 作者:亢春梅；耿振亚；马力作者单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	介绍了国外传感器市场的发展概况,重点介绍了光、温度、生物化学及MEMS传感器的市场情况.并阐述了传感器在不同应用领域和分布国家的市场状况,预测了国外传感器市场的发展趋势.
	关键词：传感器市场现状趋势

4. 通用串行总线接口脉搏传感器系统的设计

	[中文会议论文] 作者:刘艳；张宪；耿振亚；崔淑琴；姜德谭作者单位:哈尔滨理工大学电气与电子工程学院；中国电子科技集团公司第四十九研究所会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	通用串行总线(USB)接口脉搏传感器系统的设计目的是利用其接口速度快、使用灵活的特点在PC机中实时的显示脉搏波形,系统采用了内核兼容8051带有闪存的高性能ADC芯片MSC1210作为微控制器采集信号
	关键词：脉搏传感器单片机通用串行总线

5. 电容微加速度计结构参数优化设计

	[中文会议论文] 作者:黄书琴；郝永平；王世军作者单位:沈阳理工大学CAD/CAM技术研究与开发中心会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	针对提高电容傲加速度计的灵敏度,本文首先建立了微加速度计结构模型,讨论了梁的长度、宽度、结构厚度参数变化影响微加速度计固有频率.计算结果表明,对微加速度计的结构参数进行优化设计,可以最大限度地提高传感
	关键词：微加速度计灵敏度优化设计

6. 微流体光纤芯片的研究进展

	[中文会议论文] 作者:苏波；崔大付；刘长春；陈兴作者单位:中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	微流体光纤芯片是一种把光纤植入到芯片中以方便检测的新型生物芯片,它具有体积小、试剂消耗少、处理速度快、灵敏度高、可实现高度集成等优点,成为微全分析系统(μ-TAS)研究的热点.结合目前光纤芯片的发展状
	关键词：光纤聚二甲基硅氧烷光纤植入制作

7. 内嵌MCU的ADμC812在智能压力传感器中的应用设计

	[中文会议论文] 作者:张文竹；孙慧明作者单位:黑龙江科技学院自动化工程系；黑龙江大学电子工程学院会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	介绍利用ADμC812单片机构成的智能压力传感器,提供了硬件结构和软件框图的应用设计方案.该系统具有硬件设计简单、体积小、价格低、功耗小等特点.
	关键词：ADμC812 智能压力传感器单片机

8. 电磁感应传感器在井轨迹测量中的应用

	[中文会议论文] 作者:卜丹；邱成军；穆长生作者单位:黑龙江大学电子工程学院会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	利用磁感应强度随井管材料介质变化的特点,研制了电磁感应传感器,开发定向井轨迹的磁控测量系统.该系统具有体积小,功耗低,可靠性强,测量准确及操作简便等优点,实现了在井下85℃环境中对预测点数据自动采集功
	关键词：电磁感应传感器井轨迹测量

9. 浅谈生物传感器在几个主要领域的应用及展望

	[中文会议论文] 作者:莫冰；刘晓为作者单位:哈尔滨工业大学MEMS中心会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	生物传感器技术是一项迅速发展的高新技术,近年来,已成为科学界的研究热点之一.简述了生物传感器的工作原理、分类及其在食品工业、环境监测、发酵工业和医学中的应用,并对其发展前景作了预测及展望.
	关键词：生物传感器应用展望

10. TiO_2薄膜氧传感器的制备与性能测试

	[中文会议论文] 作者:刘鑫；赵全亮；张辉军；邱成军作者单位:黑龙江大学集成电路重点实验室会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	阐述了TiO2薄膜氧传感器的发展概况,分析了它的氧敏机理,并介绍了它的制备工艺.最后,对制成的TiO2薄膜氧传感器进行实验得出的结果和理论分析得出的结果进行比较,进一步给出TiO2薄膜氧传感器的特性.
	关键词：氧传感器薄膜 TiO2 制备工艺

11. PZT压电薄膜与MEMS器件集成的研究

	[中文会议论文] 作者:刘红梅；邱成军；张辉军；曹茂盛作者单位:黑龙江大学集成电路实验室；哈尔滨工程大学材料科学与工程系会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	主要介绍了在MEMS器件中PZT薄膜制备的方法,对PZT薄膜与MEMS的集成过程中需要解决的问题进行了分析与探讨.
	关键词：PZT 压电薄摸 MEMS

12. 集成智能传感器的研究与展望

	[中文会议论文] 作者:耿振亚；亢春梅；刘艳；赵异凡作者单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所；哈尔滨理工大学电气与电子工程学院会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	阐述了集成智能传感器的概念,对集成智能传感器理论和技术等方面的研究热点作了分析,提出了我国集成智能传感器技术发展的思路.
	关键词：传感器集成化智能化研究与展望

13. 光纤传感技术在石油勘探与生产领域的应用

	[中文会议论文] 作者:张敏；赖淑蓉；廖延彪作者单位:清华大学电子系光纤传感实验室会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	介绍了当前国外对光纤传感技术的研究动态和在石油勘探生产方面的应用进展情况.永久性埋入井下的光纤传感技术将在未来的应用中体现明显的优势.
	关键词：光纤传感石油勘探声探测

14. 外卡式微型传感器系统的设计及其应用

	[中文会议论文] 作者:刘国强；安钢；唐东红作者单位:装甲兵工程学院机械工程系会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	设计了一种压电式微型压力传感器系统,利用外卡式方法对某装备液压管路系统进行不解体的检测, 给检测系统带来了极大的方便,同时提出进行倍压式测量从而解决了工程实际中对低压系统的不解体检测的技术难题.
	关键词：微型传感器压电式不解体倍压式

15. 光纤光栅传感器温度和应变交叉敏感问题解决方案

	[中文会议论文] 作者:于秀娟；余有龙作者单位:黑龙江大学光纤技术研究所会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	近年来,光纤光栅传感器成为光纤传感器领域的发展热点之一,但是温度和应变交叉敏感问题是制约光纤光栅传感器实用化和产业化的"瓶颈".因为在大多数的实际应用中,温度和应变这两个量都会作用在传感单元上,引起温
	关键词：光纤光栅传感器交叉敏感温度和应变布拉格光栅长周期光栅

16. 芯片尺寸封装与倒装焊接技术研究

	[中文会议论文] 作者:刘瑞丰；高强；郝旭丹作者单位:东北微电子研究所会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	主要论述了现代微电子封装技术中的芯片尺寸封装与倒装焊接技术,最理想的封装工艺是芯片直接焊接在印刷电路板上,由于一些结构问题,好芯片及测试裸芯片的工艺问题等制约其发展,所以,芯片尺寸封装技术得到了快速发
	关键词：芯片尺寸封装倒装焊接芯片直接连接好芯片

17. 中国传感器技术及其产业的中长期发展趋势

	[中文会议论文] 作者:范茂军；王平；齐文杰；胡文炯作者单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	从传感器技术与产业特点、行业现状为出发点,阐述了我国传感器产业面临的机遇和挑战,论述了传感器技术及其产业的发展趋势和传感器市场的发展趋势,最后,着重指出未来10-20年将是我国新型传感器得到全面、协调
	关键词：传感器技术产业发展趋势

18. 采用MEMS制作悬臂梁结构设计模拟与制作工艺研究

	[中文会议论文] 作者:赵晓锋；王丙利；李斌；温殿忠作者单位:黑龙江大学电子工程学院会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	给出在P型晶向单晶硅片表面.采用美国IntelliSuite公司MEMS设计软件,对悬臂梁结构设计进行模拟,给出优化设计的模拟结果,该设计方案较好地解决了悬臂梁结构的削角现象.在此基础上,对悬臂梁结构
	关键词：悬臂粱 MEMS IntelliSuite 硅各向异性腐蚀技术

19. PCR聚合物芯片研究进展及产业化前景

	[中文会议论文] 作者:章春笋；徐进良作者单位:中国科学院广州能源研究所微能源系统实验室会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	聚合酶链式反应(polymerase chain reaction,PCR)是一项重要的核酸扩增技术.基于微电子机械系统(microelectromechanical system,MEMS)技术发展
	关键词：聚合酶链式反应生物芯片聚合物衬底材料应用

20. 基于加速度传感器3140的简易测斜仪的研制

	[中文会议论文] 作者:刘国华；乌效鸣；许朋作者单位:中国地质大学工程学院会议名称:中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
	结合目前浅孔测斜的现状分析,对浅孔测斜技术进行了探讨.并通过对3140型加速度传感器的特性研究,提出了用一只加速度传感器测试钻孔顶角的新方法.在实验基础上,进行了仪器的原理、结构和软硬件设计,研制了一
	关键词：测斜传感器顶角

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